Quartz Crucible
石英坩堝
純度高且耐熱性強的石英坩堝在單晶矽的拉製過程中是必不可少的部件。石英坩堝的性能對單晶矽的成晶率有較大的影響,Ferrotec(中國)坩堝事業部一直不斷的進行技術革新,也取得了很大的突破。為了滿足不同客戶的多樣性生產需求,我司研發出四大系列石英坩堝,應對客戶不同的長晶工藝。石英坩堝尺寸我們目前可對應14英寸到32英寸,並具備按照客戶要求定制更大尺寸的技術能力。後工序加工我們歷時三年開發出一套全自動化生產線,確保石英坩堝品質穩定。
產品系列
AQM-10系列
內壁含有透明層的天然石英坩堝
AQM-20系列
高純天然石英坩堝,在AQM-10的基礎之上增加高純天然砂,內表面純度較高
AQM-30系列
合成石英坩堝,內表面純度更高,適用於拉製高級別晶棒
AQM-40系列
內表面結晶化的天然石英坩堝,適用多次加料工藝,長時間使用。
產品尺寸規格
項目/Item | 16” | 18” | 20” | 22” | 24” | 26” | 28” | 32” | |
外徑 Outer diameter (mm) |
D1 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 |
D2 | 404±2 | 457±3 | 507±3 | 556±3 | 611±3 | 656±3 | 705±3 | 810±3 | |
厚度 Thickness (mm) |
T1、T2 | 8.5±2 | 9±3 | 10(-2/+3) | 11(-2/+3) | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 |
TR | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 23±5 | |
TB | 8.5±2 | 10±2 | 11(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 12(-2/+3) | 13(-2/+3) | 16±4 | |
真空透明層 Vacuum transparent layer (mm) |
W | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 |
R | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
B | ≧2.5 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | ≧3.0 | |
R形狀 R shape |
R1 | 90 | 120 | 90 | 110 | 120 | 120 | 120 | 160 |
R2 | 406 | 500 | 508 | 558 | 610 | 660 | 711 | 810 |