Silicon Parts

矽材料零件

SiFusion Polysilicon
Furnaceware

性能優於石英和SiC

  • SiFusion多晶矽晶圓比石英和SiC等消耗品更具卓越性能。
  • 所有的SiFusion產品均由高純度多晶矽材料製成，可以從純度、低維護，成本和對環境的影響等用途上進行産品的選擇。產品包括所有的200 mm和300 mm立式爐管應用的組件。
  • SiFusion爐管零件的設計和製造易於安裝在包括東電（TEL），KE，Avisa和ASM在內的所有主要OEM爐管中。

SiFusion Product Suite

SiFusion產品陣容