Silicon Parts
SiFusion Polysilicon Boats
可實現石英和SiC舟的高純度和高性能的技術
SiFusion多晶矽舟是專為擴散爐製程而設計,可與現有石英和SiC晶舟在維持高純度,高性能的替代技術。有助於減少顆粒和晶格錯位。消除障礙得以提高產量,SiFusion晶舟是新一代IC架構的必備的工具。SiFusion產品線包括適用於所有主要立式爐管型號的晶舟形狀設計。