本設備採用變頻控溫方式,提高能效,减少耗能。-20℃下目標制冷量可以達到3600W,滿足客戶制冷需求。精確控溫,控溫穩定性達到±0.1℃,使用範圍廣,設定溫度:-20℃~80℃。

廣泛應用於半導體行業蝕刻裝置、CMP､於實驗室精密裝置､高精度測試儀器､醫美設備､固態雷射器及模具溫控等。