CVD-SiC

CVD-SiC

Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide

碳化矽

用三井造船獨自研發的CVD-SiC生產的ADMAP的SiC產品，具備超高純度·高耐腐蝕·高耐氧化性·高耐熱性·高耐摩耗性的特性，產品被廣泛應用於各個領域。

主要用途

  • ・用於超高溫退火裝置大型部材開發（珪舟、刀柄、噴嘴）
  • ・開發窄間距卡式碳化珪舟
  • ・超高純度SiC粉末原料
  • ・新一代矽片部件

特性表