Super Machinable Ceramics

可加工陶瓷製品

Machinable Mica

可加工雲母

具有可加工陶瓷同等的快速切削性能、以低膨脹和高反射射率為特性的陶瓷,以玻璃為基質,
氟金雲母和氧化鋯微晶均勻沉積的緻密複合陶瓷。具有良好的電氣絕緣性、耐熱性和隔熱性。

主要用途

  • ・半導體製造裝置用部件
  • ・半導體檢查裝置用部件
  • ・鐳射裝置部件
  • ・真空裝置部件
  • ・薄膜成膜裝置部件
  • ・線性電機零件
  • ・液晶製造裝置部件
  • ・吸附裝置部件
  • ・定位裝置部件
  • ・各類傳感器部件
  • ・分析裝置部件
  • ・超音波診斷裝置部件
  • ・各類隔熱部件
  • ・各類絕緣部件
  • ・各類分析裝置用絕緣部件
  • ・基盤・定位治具
  • ・焊接夾具
  • ・聚焦部件     其他

特性表