Silicon Parts

矽材料零件

SiFusion High Tempter Anneal Polysilicon Boats

SiFusion 高溫退火晶舟

紅外線的穿透性

SiFusion產品比石英和SiC產品具有優勢

  • 因具有與晶圓片相同的熱膨脹係數(CTE),因此消除了在裝卸晶舟時溫度升高時所出現的膜的熱膨脹差異,消除了膜應力的不利影響。在高溫處理中,減少了因晶格錯位導致的晶片背面上的划痕。
  • 與SiC產品不同,由於內部是高純度多晶矽,即使表面有划痕或碎屑因為沒有雜質、也可以使用。
  • 如果接頭跟底部有損壞,可透過更換零件進行修理,無需丟棄整個接頭。