Fine Ceramics

精密陶瓷組件

Aluminium Nitride

氮化鋁

氮化鋁陶瓷最大特點在於熱傳導性。
此外該材料還具有獨特的性能,例如高耐氟等離子體性和和與矽(Si)相似的膨脹係數。
我們提供高導熱和高純度等級的散熱組件在許多應用中,以及半導體製造設備的耐等離子組件。

主要用途

  • ・半導體製造裝置腔內部件
  • ・散熱基板

特性表