與噴射管和晶舟一樣，SiFusion多晶矽襯套也是半導體爐中的關鍵元素。襯套為氣體從入口到排氣的流動提供了均勻的路徑，並充當了屏障，以防止來自外管的粉塵影響產品產量。
石英和SiC通常需要定期清潔，而SiFusion多晶矽襯套則不需要定期清潔。