Silicon Parts

矽材料零件

SiFusion Polysilicon Pedestals

SiFusion多晶矽底座

高純度，高性能

SiFusion多晶矽底座是用作擴散和熱處理過程中固定舟的夾具。跟所有SiFusion產品一樣，這些底座是石英和SiC夾具的高純度，高性能替代品。

SiFusion底座産品請參照下表

  • ・在150 mm，200 mm和300 mm的立式爐管的實績
  • ・可根據客戶要求自由設計溝槽數量，節距，長度等。
  • ・本產品不會產生粉塵。
  • ・不需要PM。