Chillers

冰水機

Accessories
(Cold plate system and TEC controller)

相關部件(冷盤系統、溫控器)

FCSW0052306

冷卻盤單元介紹

本設備是一款4英寸晶圓冷卻系統,內置TEC致冷晶片,表面冷卻精度可達±0.05℃,相對於純內埋式冷卻盤而言冷卻能力更加可靠穩定,盤面溫度更加均匀,可滿足高度客製化需求且交期較短。

應用領域

廣泛應用於半導體製程用塗膠顯影裝置。爲晶圓提供快速冷卻。

技術參數

型號 FCSW0052306
適合晶圓尺寸 4英寸
制冷方式 熱電半導體晶片式
散熱方式 強制水冷冷卻
控制方式 制冷/制熱PID控制
環境溫度/濕度 10~35℃, 35~80%RH
熱面循環流體 廠務冷卻水
工作溫度範圍 15.0~35.0℃
制冷功率 75W(25℃)
制熱功率 180W(25℃)
溫度穩定性 ±0.05℃
溫控器型號 FCSW0022301-1
控制電壓 DC5~48V
廠務冷卻水 溫度範圍 15~30℃
壓力範圍 ≤1MPa
流量需求 2~5L/min
流體零件材質 Stainless Steel 304
實際輸入功率 ≤150W
最大輸出電流 18A
保護功能 過載、 短路、 過溫
通信 RS485