Silicon Parts

矽材料零件

SiFusion Polysilicon Injectors

SiFusion多晶矽噴射管

性能優於石英和SiC

SiFusion多晶矽噴射管在爐管中充當夾具,用於像擴散爐和LP-CVD製程供應製程氣體。
由於具有很高的強度並且在高達1350°C的溫度下不會發生變形,SiFusion是當前石英和SiC的更好替代品。

SiFusion噴射管

  • 改善噴射管突發性粒子的爆發
  • 不會在高溫下變形或損壞
  • 可根據客戶的規格進行構成
  • IR透明度-降低熱保護
  • 保養週期的壽命延長