Silicon Parts
SiFusion Polysilicon Injectors
性能優於石英和SiC
SiFusion多晶矽噴射管在爐管中充當夾具,用於像擴散爐和LP-CVD製程供應製程氣體。由於具有很高的強度並且在高達1350°C的溫度下不會發生變形,SiFusion是當前石英和SiC的更好替代品。
SiFusion噴射管