Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封傳動裝置

Magnetic Fluid Seal

磁性流體密封傳動裝置(Ferro真空產品)

產品列表

實心軸密封傳動裝置

Ferrotec擁有多種實心軸傳動裝置,例如:微型、通孔型、法蘭型、重負載型,可以依據各種用途設計不同機型。除小徑的轉軸外,轉軸的動力裝配部和用戶安裝部的形狀有標準的鍵槽以外,還能根據用戶的要求,設計、製造多重配合形式,如扁平面、螺紋連接、孔連接等。Ferrotec的標準公制密封傳動裝置除了部分微型、通孔型以外,還具有可適用於高溫場景的水冷型產品。

空心軸密封傳動裝置

空心軸密封傳動裝置是一個卡盒機構,它可以和既有的軸結合到一起。通過0型圈把轉軸和密封裝置軸套結合起來,形成靜態密封狀態,軸和軸套通過夾板固定。

空心軸密封傳動裝置有通孔型、懸臂型(針對活性氣體)、法蘭型等,其他也可以選擇不使用固定夾板的類型。

多重軸向軸承

我公司Ferro真空裝置根據客戶要求設計,可廣泛運用於各領域。

除了應用於半導體工藝中晶片搬運機器人的多軸構造遺跡線性運動以外,我公司還擁有可對應10-6Pa超真空工藝的Ferro真空密封產品。

特徵

可形成密封圈

密封傳動裝置被磁性流體包圍整個轉軸,成為一個隔絕空氣、水氣、煙霧等元素的密封圈。

防止難以檢測的洩漏

密封圈的洩漏微弱到無法檢測。即便通過我公司氦氣測漏議最高感度(我公司HE測漏議1*10-12Pam3/sec以下)測試,也檢測不到洩漏。

壽命長

“ 液體O型密封圈”由一個穩定、不活性的低蒸汽壓磁性流體構成,其裝置可以長期使用10年無需維修。

可靠性高

密封圈由簡單的永磁結構和低蒸發量的磁性流體構成,這就是軸承壽命等於密封壽命的秘密。

無污染

因為密封圈無磨損,沒有微粒產生,降低了整個系統的污染。加上低蒸汽壓密封圈可將超高壓真空度控制在10-6Pa,從而維持完美的真空狀態。

最佳的扭矩傳遞特性

僅一根軸就能完成扭矩傳遞。因此可以實現100%的扭矩傳遞以及保證無回流的同相動力傳遞。

優異的高速旋轉能力

我司的密封傳動裝置屬於非接觸型密封。磁性流體粘滯阻力極低,動作非常順滑。這決定了它高速旋轉時依舊能穩定發揮功能。

目前的購入流程

我司為各類真空加工設備提供各類高質量密封產品。我司不僅擁有實心軸型、空心軸型、多軸型等的各種類型的密封傳動裝置,也承接扁平面、螺紋連接、孔連接等客戶定制加工,為客戶的製造環境提供最適合的密封產品。

諮詢方式

確認客戶的使用目的

  • ●氧化・擴散裝置
  • ●離子注入裝置
  • ●各類CVD裝置
  • ●濺鍍裝置
  • ●干法刻蝕裝置

確認使用環境等條件

  • ●客戶要求軸直徑
  • ●腔體內部的各種條件(真空管、耐壓性、使用環境、濕度等)
  • ●物理條件(負荷、扭矩、旋轉數等)
  • ●外形尺寸等各類條件

選擇密封產品・設計新品・承接客戶定制要求

  • ●扁平面
  • ●螺紋連接
  • ●孔連接

製造密封產品

提供最佳密封產品