Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封傳動裝置

Magnetic Fluid Seal

磁性流體真空產品（Ferro真空產品）

多功能密封傳動裝置

氣體淨化型

產品型號 SFV020WC型
參考達到壓力 [Pa] 10-6
使⽤溫度範圍 [℃] 室溫〜80
使用環境 可對應活性氣體
殼體材質 SUS304
軸材質 SUS630
[特徴]
通過把氣體淨化構造內藏在密封單元中，從而防止工業廢氣流入密封部，進而可以減少密封部周圍析出物的生產，來實現長壽效果。
[使⽤實例]
適用於腐蝕氣體以及會生成析出物的CVD裝置、熔爐
性能值是我公司的測試結果或者是通過測試計算得出的數值，
並非保證值。