Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封傳動裝置

Magnetic Fluid Seal

磁性流體真空產品（Ferro真空產品）

多功能密封傳動裝置

三重軸直線動向型

產品型號 CFF022NN型
參考達到壓力 [Pa] 10-6
使⽤溫度範圍 [℃] 室溫〜80
使用環境 可對應活性氣體
殼體材質 SUS304
軸材質 SUS630
波紋管行程 50mm
波紋管重複使用壽命 106以上
[特徵]
雖然是同軸3軸構造的高剛性型，但也能輕鬆實現高振動、高精確旋轉。
不僅如此它還是實現了50mm的線性運動，是自動組合裝置的最佳選擇。
[使⽤實例]
適用於300mm晶圓搬運或者LCD大型玻璃基板搬運真空機器人
性能值是我司的測試結果或者是通過測試計算得出的數值，
並非保證值。