Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封傳動裝置

Magnetic Fluid Seal

磁性流體真空產品（Ferro真空產品）

多功能密封傳動裝置

可對應高真空型

產品型號 SCV012WC型
參考達到壓力 [Pa] 10-7
使⽤温度范围 [℃] 室温〜80
使用環境 對應惰性氣體
殼體材質 SUS304
軸材質 SUS630
[特徴]
  • 1. 採用可對應UHV的磁性流體，即耐高溫又屬於低蒸汽壓性。
  • 2. 差動排氣室以及主腔體間通過極小的電導隔開，排出加熱產生的廢氣等氣體，從而防止主腔體被汙染。
  • 3. 加熱條件與TMP相同，相對比較容易。
  • 4. 如果是10-7 Pa級真空度，可以統一差動排氣係和主排氣係。
  • 5. 密封單元屬於一體型，僅附有輔助排氣口，構造簡單，因此可整個設備裝置可以設計地更小型化。
[使⽤實例]
適用於超高真空工藝裝置設備
性能值是我公司的測試結果或者是通過測試計算得出的數值，
並非保證值。