Ferrofluidic Seals
(FerroSeals)

真空密封傳動裝置

Magnetic Fluid Seal

磁性流體真空產品（Ferro真空產品）

多功能密封傳動裝置

三重軸型

產品型號 CFL200NN型
參考達到壓力 [Pa] 10-6
使⽤温度范围 [℃] 室温〜80
使用環境 可對應活性氣體
殼體材質 A2024
軸材質 SUS630
［特徴]
能實現高振動、高精確旋轉的高剛性型。
為了實現輕量化，也可選擇鋁殼體型。
[使⽤實例]
適用於LCD大型玻璃基板搬運真空機器人（蛙型機器臂）
性能值是我公司的測試結果或者是通過測試計算得出的數值，
並非保證值。